物理消毒法包括紫外線(xiàn)、層流式通風(fēng)過(guò)濾除菌等;化學(xué)消毒法包括乳酸、甲醛等熏蒸法。紫外線(xiàn)、乳酸、甲醛等臨床上常用的傳統消毒方法,在此不再贅述。作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低。
公司:河南省新鄉市延津縣健康路金隆花園7號樓1102
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